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半导体真空泵行业龙头:汉钟精机(深度报告)
时间:2024-05-15 20:44:14 点击次数:

  真空泵是指利用机械、物理或化学方法在某一封闭空间中产生真空环境的装置。按照真空度和气压范围来划分,真空泵可分为低真空、中真空、高真空及超高真空四类,应用于不同的真空要求环境。真空泵下游主要为泛半导体领域,包括集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池等,2019年泛半导体占比约46%。据Verified Market Intelligence 测算,2021年全球线%,增长稳定。

  真空泵应用于拉晶和电池片环节。在拉晶环节,单晶炉炉膛内持续通入惰性气体,真空泵负 责不断地从炉膛向外抽气,起到保持炉膛内真空度稳定的作用。在电池片环节,真空泵为 PECVD、ALD、组件层压提供真空环境,避免硅片被氧化,并减少原始污染。

  2021年汉钟精机线亿元,其中拉晶环节用线%,即拉晶线年国内拉晶线亿元,对应公司市占率达70%。在光伏电池片线%,低于光伏拉晶线%。

  汉钟精机真空泵技术路线为螺杆泵,相比于涡旋泵泵及罗茨泵,具备结构简单、能耗低等成本优势,契合光伏行业降本需求。

  干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备,应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁严苛的制程。汉钟精机的半导体真空泵以螺杆泵、罗茨泵为主,已推出 PMF、iPM、iPH 三个系列,分别适用于清洁、半严苛和严苛制程,能够满足半导体先进工艺要求。

  根据SEMI数据,2021-2025年全球晶圆厂产能将从约916万片提升至约1226万片(12 寸等效),带来真空泵的新增和替换需求。其中,中国12寸晶圆厂全球产能占比将从19%提升至23%,8寸晶圆厂产能提升66%。中国12寸晶圆厂全球产能占比从 22%下滑至 21%,8寸晶圆厂产能提升11%。

  公司压缩机业务包括制冷压缩机和空气压缩机,前者主要用于商用中央空调、冷链物流及空气源热泵,后者主要用于空压机、工业自动化的空气源动力设备。

  公司真空泵下游主要为光伏拉晶、光伏电池片及半导体。2021 年公司压缩机及线%,真空泵占比保持提升趋势,

  2018-2021 年公司线%,远高于同期压缩机收入 CAGR 为 9%,线%。此外,真空泵毛利率显著高于压缩机,2022上半年公司线%,高于同期压缩机毛利率30%。

  (4)资产结构:总资产57亿,其中货币资金14亿,存货10亿,固定资产9亿,应收账款6亿,交易性金融资产5亿.

  (5)负债结构:总负债25亿,其中应付票据及账款10亿,短期借款8亿,合同负债2亿,长期借款2亿.

  公司净利润保持增长,毛利率净利率较为稳定,现金流良好,虽然有少量借款但货币资金充裕,财报整体良好。

  最新数据:公司2022年度实现营业收入32.66亿元,同比增长9.55%,实现归母净利润6.44亿元,同比增长 32.27%,扣非后归母净利润6.05 亿元,同比增长32.80%;2023年一季度公司实现营业收入6.90亿元,同比增加16.01%,实现归母净利润1.16亿元,同比增长27.48%。

  公司在光伏长晶及电池片产业赢得了较大的市场份额,和国内光伏大厂及重要机台商(晶盛机电、深圳捷佳创、隆基绿能等)长期合作。目前上海的枫泾厂和兴塔厂两厂光伏发电屋顶面积达 41,855 平方米,2022 年度使用光伏发电量为 191.35 万度,折合约 540.22 吨标煤,截至本报告期末累计发电量为 949.47 万度,折合约 2,661.29 吨标煤。

  半导体:公司作为螺杆式真空泵的龙头,同时在多级鲁式和旋片泵有市场布局。在螺杆式真空泵方面,公司积累了大量的研发与应用经验,并已经成功研发全系列中真空干式真空泵产品(满足半导体生产最先进工艺),并拥有 SEMI 安全基准验证证书。

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