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真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。归纳地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,到现在为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。所以,为达到不一样产品的工艺指标、工作效率和设施工作寿命要求、不一样的真空区段需要选择不一样的真空系统配置。为达到最正确配置,选择真空系统时,应试虑下述各点:
在确立了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最正确工作真空度天博tb。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作线%,比前级泵的极限线%。
检查确立工艺要求的抽气种类与抽肚量。因为假如被抽气体种类与泵内液体发生反响,泵系统将被污染。同时一定考虑确立适合的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
自然上式不过理论计算结果,还有若干变量要素未考虑进去,器的流阻、被抽气体温度等。实质上还应当将安全系数考虑在内。当前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等
1、真空泵的工作压强应当知足真空设施的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,采纳的线mmHg。往常选择泵的真空度
10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳固的工作压强范围为
510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范围以内,而不可以让它在10-8mmHg
下长久工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg
分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,能够选择有油泵,加上一些防油污染举措,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到洁净线、认识被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐化性等。选择真空
泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐化性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装协助设施,如冷凝器、除尘器等。
体积V,压强P,P?V=常数(必定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。
它们工作时需要前级泵来保持其前级压力低于临界值,采纳的前级泵一定能将主泵的最大气体量排走,依据管路中,各截面流量恒等的原则有:
1、真空泵的工作压强应当知足真空设施的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,采纳的线mmHg。往常选择泵的真空度
10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳固的工作压强范围为
510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范围以内,而不可以让它在10-8mmHg
下长久工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg
但不可以抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,二者组合起来,便会使真空装置获得较好的真空度。此外,有的真空泵不可以在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,能够选择有油泵,加上一些防油污染举措,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到洁净线、认识被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐化性等。选择真
空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐化性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装协助设施,如冷凝器、除尘器等。
1、真空泵的工作压强应当知足真空设施的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,采纳的线mmHg。往常选择泵的真空度要高于真空设施真空度半个到一个数目级。
定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范围以内,而不可以让它在10-8mmHg下长久工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好天博tb。
5、真空设施对油污染的要求。若设施严格要求无油时,应当选各样无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,能够选择有油泵,加上一些防油污染举措,如加冷阱、障板天博tb、挡油阱等,也能达到洁净线、认识被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐化性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐化性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装协助设施,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎样。假如环境不一样意有污染,能够选无油真空泵,或许把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不一样意,应选择无振动的泵或许采纳防振动举措。
泵工作时,需要注意以下两个方面:尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的地区内运行。应防止在最大真空度或最大排气压力邻近运行。在此地区内运行,不单效率极低,并且工作很不稳固,易产生振动
和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此地区以内运行,常常还会发生汽蚀现象,产生这类现象的显然标记是泵内有噪音和振动。汽蚀会致使泵体、叶轮等部件的破坏,致使泵没法工作。
