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天博体育官网入口常用真空泵的工作原理图
时间:2024-07-04 20:34:29 点击次数:

  天博体育官网入口常用真空泵的工作原理图真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体,以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械、物理和化学方式。根据要达到的线种以上的真空泵相组合。

  原理:转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。

  构造:电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。原理:每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变天博体育官网入口

  不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和初段排气泵组合。

  构造:强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。原理:通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。

  构造:加热电阻丝、Ti材料(线或球)。原理:通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的线升/s的排气速度天博体育官网入口。在压力较高时(10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用天博体育官网入口

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